氦气检测仪，氦气分析仪是采用热导式原理传感器，通过测二元气体的热导力得出氦气的浓度，必须是热导力系数差别较大的混合气体才适合用热导式原理氦气检测仪来检测分析

       氦气质谱检漏仪的检测方法：

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法

氦气检测仪，氦气分析仪与氦气质谱检漏仪非同一产品，前者是分析氦气浓度，后者是测漏检测。